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                            提高振動平臺動態性能的方法

                             
                             
                                    微/納米傳動平臺中,柔性機構的彈性勢必導致振動平臺高速、高加速帶來的殘余振動。采用先前拉格朗El方法,建立了振動平臺的動力學模型,得到了振動平臺前5階固有頻率的解析式;分析了振動平臺固有頻率與柔性板簧厚度、長度的相互關系,得到了固有頻率隨柔性板簧厚度、長度的變化規律。應用有限元方法,分別仿真得到了前6階固有頻率和模態陣型;以固有頻率為優化目標,建立了平臺的優化模型。
                                   采用動態測試系統,分別對優化前、后的振動平臺進行了模態試驗分析;通過對比分析,得到了提高平臺動態性能的方法,且模態試驗結果表明,調整柔性板簧厚度、長度的方目前,在高精密領域,尤其在納米技術中,微/納米傳動平臺的地位越來越高,比如微/納米圖像成型¨1、生物工程與醫療器械心J、掃描探針顯微鏡檢測舊o、光學器件微裝配H』、MEMS的微制造¨o等。 同時,也對傳動平臺的提出了諸多設計要求,既要求平臺具有大行程、納米級分辨率及良好的緊湊性,又要具有高穩定性、高帶寬、高速及高加速等優點∞J?;趬弘娞沾沈寗雍腿嵝詸C構的平臺。7。9J,可克服機械摩擦、機械問隙,近年來,已得到了越來越廣泛的應用。林超等¨0。設計了5自由度微/納米傳動平臺,由壓電陶瓷驅動,利用柔性機構彈性變形實現高精密傳動,可滿足納米級分辨率的設計要求。

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